ДЕФЕКТЫ И ПРИМЕСИ В ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ КРТ,
ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ
МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ
ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ

С. Н. Ершов, Т. И. Бенюшис
Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Н. Новгород, Россия

Л. А. Бовина, В. И. Стафеев
Государственное унитарное предприятие «Научно-производственное объединение "Орион"», Москва, Россия

          Исследованы основные типы дефектов, возникающих в эпитаксиальных слоях при выращивании из металлоорганических соединений (МОС) методом плазмостимулированного разложения. Показано, что вариацией состава и давления компонент МОС и газа-носителя возможно управление типом проводимости и концентрацией дефектов. Микровключения ртути и ее испарение с поверхности - основные причины временной нестабильности слоев туллуридов кадмия-ртути (КРТ). Включения рассасываются при отжиге. Возможность ухода ртути с поверхности слоя устраняется выращиванием на ней пассивирующего слоя CdTe, что обеспечивает получение высокостабильных слоев КРТ.

Содержание журнала "Прикладная физика" N 1, 2000 г.