С. Н. Ершов, Т. И. Бенюшис
Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского,
Н. Новгород, Россия
Л. А. Бовина, В. И. Стафеев
Государственное унитарное предприятие «Научно-производственное объединение "Орион"»,
Москва, Россия
Исследованы основные типы дефектов, возникающих в эпитаксиальных слоях при выращивании из металлоорганических соединений (МОС) методом плазмостимулированного разложения. Показано, что вариацией состава и давления компонент МОС и газа-носителя возможно управление типом проводимости и концентрацией дефектов. Микровключения ртути и ее испарение с поверхности - основные причины временной нестабильности слоев туллуридов кадмия-ртути (КРТ). Включения рассасываются при отжиге. Возможность ухода ртути с поверхности слоя устраняется выращиванием на ней пассивирующего слоя CdTe, что обеспечивает получение высокостабильных слоев КРТ.