Образование вакансионно-газовых пор или блистеров при взаимодействии поверхностей металлов и диэлектриков с плазмой моделируется как процесс кластеризации примесных дефектов на временах флуктуационной стадии фазового перехода 1-го рода. Распределения кластеров дефектов по размерам и положению в решетке получены численно методом стохастического аналога. Исследована роль отжига.

Содержание