Представлены параллельный численный алгоритм и результаты вычислительного эксперимента по исследованию электронного переноса в кремниевом автоэмиттере. Показано, что в области рабочих полей ток эмиссии определяется горячими электронами. Развитые методы могут быть применены для моделирования вакуумной микроячейки реального массива полупроводниковых полевых эмиттеров устройств вакуумной микроэлектроники.

Содержание