Разработка 65-элементной неохлаждаемой микроболометрической линейки мембранного типа

В. Г. Маляров, И. А. Хребтов, В. Ю. Зеров, Ю. В. Куликов, И. И. Шаганов
ВНЦ "ГОИ им. С. И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия

А. Д. Смирнов, Л. С. Рагузина
АЗОТ "Светлана-Электронприбор", Санкт-Петербург, Россия

Представлены структура и технология изготовления 65-элементных микро-болометрических линеек (МБЛ) мембранного типа и результаты исследований их свойств. На постоянном токе смещения микроболометры с термочувствительным VОx-слоем имеют обнаружительную способность 5·107 (см·Гц½)/Вт на частоте 12,5 Гц при постоянной времени 3 мс. Намечены пути улучшения чувствительности разработанных линеек.

Содержание