Экспериментальное плазменное
оборудование для получения
сверхмногослойных материалов

Н.Г. Елистратов, А.Н. Носыров,
В.И. Хвесюк, П.А. Цыганков
МГТУ им. Баумана, Москва, Россия

   Предложена схема плазменно-технологического оборудования для получения стабильных и метастабильных сверхмногослойных материалов (СММ) методом поатомного напыления слоев. Приведены технические параметры установки. На примере композиций Al - Cr и Al - Ti показана возможность изготовления СММ обоих классов. Приведены результаты исследований продукта реакции смещения слоев в композиции Al - Ti.

Содержание