Приемы легирования пленочных материалов и структур
для термоэлектрических преобразователей

В.Н. Вигдорович

Институт химических проблем микроэлектроники, г. Москва

М.А. Каримбеков

Московский энергетический институт (технический университет), Москва

   Рассмотрены приёмы легирования плёночных материалов и структур, дополнившие классические рекомендации повышения эффективности термоэлектрических материалов в массивном виде и применённые к термоэлектрическим материалам в пленочном виде: примесное, полевое и контактное легирование, а также контактное модифицирование поверхности плёнок и декорирование поверхности плёнок конденсацией на них металлов.

Содержание