Особенности поглощения ИК-излучения в тонких полиимидных структурах и микроболометрический приемник на их основе

Прикладная физика
№ 4, 2002

Особенности поглощения ИК-излучения в тонких полиимидных структурах и микроболометрический приемник на их основе

А.А. Жуков, А.Е.Здобников, С.Н.Клемин, В.В.Тарасов, Л.А. Филатов, Ю.С. Четверов

ОАО “ЦНИИ “ЦИКЛОН”, ГУП НПП “ПУЛЬСАР”, Москва, Россия

Исследовано поглощение ИК-излучения в диапазоне 200-4000 см ^–1 в полиимидных пленках толщиной 0,65-1,9 мкм с тонкими функциональными покрытиями – титаном, нитридом кремния, алюминием. Структура на основе полиимида толщиной 1,3-1,4 мкм обеспечивает поглощение до 85 % ИК-излучения в области 720 - 1250 см^-1. На основе разработанной технологии получения полиимидных пленок изготовлены и исследованы образцы микроболометрических линеек. Расчитанное значение обнаружительной способности микроболометрической линейки составляет 4^.10⁷ см ^.Гц^1/2. Вт^-1.

Содержание