НИИ ЭЛЕКТРОННОЙ И ИОННОЙ ОПТИКИ ГУП «НПО «Орион»»

Рассмотрены проблемы, возникающие при необходимости создания системы динамической фокусировки пучка заряженных частиц для технологического оборудования, обеспечивающей постоянство увеличения формирующей системы, что является необходимым (но не достаточным) условием постоянства диаметра пучка по всему полю развертки пучка. Получены аналитические выражения, позволяющие количественно оценивать диаметр отклоненного пучка (без учета аберраций отклоняющей системы) в зависимости от угла отклонения, конструкции и параметров возбуждения формирующей линзы и системы динамической фокусировки. Описаны критерии, позволяющие  рассчитывать для формирующих линз, используемых в технологическом электронно-лучевой оборудовании, системы динамической фокусировки с постоянным увеличением. Показано, что для обеспечения постоянства увеличения при больших углах отклонения необходимо использовать (как минимум) три разнесенные в пространстве линзы динамической фокусировки.

Содержание