Прикладная физика
№ 4, 2002

Моделирование ионно-зондовых систем ионно-лучевых установок с жидкометаллическим и плазменным источниками ионов малых размеров

Васичев Б.Н.

Московский институт электроники и математики, (Технический университет), Москва, Россия

Куликов Ю.В., Потапкин О.Д., Смольянинов В.Д., Фатьянова Г.И.

ФГУДП "НИИЭИО" ГУП"НПО"Орион", Москва, Россия

Сообщается об анализе траекторий ионов из ионного источника малого диаметра в системах электростатической фокусировки

Содержание