Прикладная физика
N 3, 2003

Микромашинная технология формирования мостиковых структур микроболометрической матрицы формата 64x64

А. А. Жуков, А. Е. Здобников, В. В. Тарасов, Ю. С. Четверов
ОАО «ЦНИИ "Циклон"», Москва, Россия

   Проведен анализ физико-технологических ограничений и разработана микромашинная технология формирования мостиковых структур неохлаждаемой микроболометрической матрицы с использованием тонких полиимидных "жертвенных" слоев и нитрида кремния толщиной 0,2—0,25 мкм. Получены образцы мостиковых структур матрицы формата 64x64 с шагом 51x51 мкм2. Размер балки, опоры мостиковой структуры, а также зазор между балкой и основанием составляет 2,5 мкм. Разработанная технология является основой для получения микроболометрических линеек и матриц большего формата.

Содержание