Прикладная физика
N 3, 2003

Поверхностная обработка тонких полиимидных пленок и покрытий при изготовлении микромостиковых структур неохлаждаемых микроболометров

А. А. Жуков, Ю. С. Четверов
ОАО «ЦНИИ "Циклон"», Москва, Россия

И. Ю. Коровина
МАТИ (РГТУ) им. К. Э. Циолковского, Москва, Россия

Г. А. Корнеева
ИНХС им. А. В. Топчиева РАН, Москва, Россия

   Методами ИК-спектроскопии и смачивания двумя жидкостями исследованы структуры и свойства тонких полиимидных пленок и покрытий после плазменной и жидкостной обработок, используемых в качестве "жертвенных" слоев в технологии неохлаждаемых микроболометров на основе нитрида кремния. Показано, что для получения нитридных микромостиковых структур с удовлетворительным качеством предпочтительной является обработка полиимидных покрытий в плазме.

Содержание