Локальные методы диагностики и оборудование для контроля за технологическими процессами изготовления приборов ИК-техники
Б. Н. Васичев
Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет),
Москва, Россия
А. М. Филачев, В. П. Пономаренко, Г. И. Фатьянова
Федеральное государственное унитарное предприятие «НПО "Орион"» — ГНЦ РФ, Москва, Россия
Рассмотрены основные методы анализа на отказ и работоспособность полупроводниковых ИК-структур и электронно-лучевое оборудование, адаптированное для работы в технологических линиях.
Содержание