№ 4 | Основан в 1994 г. | Москва 2003 |
Ионно-зондовые системы для ионно-лучевых технологических установок
Б. Н. Васичев
Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет),
Москва, Россия
Г. И. Фатьянова
ФГУДП "НИИ Электронной и ионной оптики" ФГУП «НПО "Орион"», Москва, Россия
Рассмотрены основные свойства ионно-оптических элементов ионно-зондовой установки для ионно-лучевого осаждения и ионно-лучевой литографии в производстве полупроводниковых ИК-структур.