ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ


№ 4 Основан в 1994 г. Москва 2003


Ионно-зондовые системы для ионно-лучевых технологических установок

Б. Н. Васичев
Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), Москва, Россия

Г. И. Фатьянова
ФГУДП "НИИ Электронной и ионной оптики" ФГУП «НПО "Орион"», Москва, Россия

   Рассмотрены основные свойства ионно-оптических элементов ионно-зондовой установки для ионно-лучевого осаждения и ионно-лучевой литографии в производстве полупроводниковых ИК-структур.

Содержание