Оптические характеристики тонкопленочных покрытий, полученных с помощью струйной плазмы высокочастотного индукционного разряда пониженного давления
Р. Т. Галяутдинов, Н. Ф. Кашапов
Казанский государственный технологический университет, г. Казань, Россия
Исследованы тонкопленочные покрытия оксидов кремния, алюминия и титана с регулируемым поглощением, полученные с помощью струйной неравновесной плазмы пониженного давления. Предложен метод конструирования интерференционных систем, основанный на варьировании комплексной части высокочастотной диэлектрической проницаемости, позволяющий реализовывать системы с требуемыми спектральными характеристиками.
Содержание