ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ


№ 5 Основан в 1994 г. Москва 2003


Автоматизированная система экспресс-диагностики параметров ионного пучка

И. Н. Канель, А. Н. Носырев, П. А. Цыганков
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия

   Даны описание системы автоматической экспресс-диагностики параметров ионного пучка, ее основные компоненты, алгоритмы работы и результаты анализа пучков технологических источников разных типов.

Содержание