Автоматизированная система экспресс-диагностики параметров ионного пучка
И. Н. Канель, А. Н. Носырев, П. А. Цыганков
Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Москва, Россия
Даны описание системы автоматической экспресс-диагностики параметров ионного пучка, ее основные компоненты, алгоритмы работы и результаты анализа пучков технологических источников разных типов.
Содержание