Модель приэлектродных процессов в магнетронных распылительных устройствах
Р. Ш. Басыров
Казанский государственный технический университет им. А. Н. Туполева, г. Казань, Россия
Н. Ф. Кашапов, Г. С. Лучкин
Казанский государственный технологический университет, г. Казань, Россия
Предложена модель прикатодной области электрического разряда магнетронного типа с учетом процессов вторичной эмиссии электронов, ионизации атомов, поля объемного заряда ионов. Учитывается зависимость коэффициента ионизации от энергии электронов и напряженности электрического поля. Получена зависимость плотности тока на катоде от параметров разряда (прикатодного падения потенциала, индукции магнитного поля и др.). Полученные результаты могут быть использованы для оптимизации скорости осаждения пленок.
Содержание