ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ


№ 1 Основан в 1994 г. Москва 2004


Формирование рельефа в полиимидных покрытиях травлением в ЭЦР-плазме

А. А. Жуков, С. А. Жукова, Ю. С. Четверов
ЦНИИ “Циклон”, Москва, Россия

П. Г. Бабаевский
“МАТИ” РГТУ им. К. Э. Циолковского, Москва, Россия

С. Ю. Шаповал
ИПТМ РАН, г. Черноголовка, Россия

   Исследовано влияние химического состава и температуры имидизации тонких полиимидных покрытий на скорость травления в кислородсодержащей плазме, генерируемой источником электронно-циклотронного резонанса (ЭЦР), при различном потенциале самосмещения и продолжительности воздействия плазмы. Показана корреляция скорости плазмохимического травления и угла профиля рельефа топологического рисунка в полиимидных покрытиях.

Содержание