Численное моделирование аберраций, возникающих в результате дефектов изготовления секступольных и октупольных корректоров
М. О. Зотова, Л. Б. Розенфельд, Б. Н. Васичев
ФГУДП НИИ ЭИО «ГУП НПО "Орион"»
Приведены методика расчета и анализ результатов моделирования влияния неточности изготовления быстродействующих магнитных секступольных и октупольных линз на их электронно-оптические характеристики (указанные линзы используются для коррекции аберраций прецизионных электронно-оптических систем, например, в установках электронной литографии). Оценены величина размытия пучка и величина ошибки позиционирования при изменении координат всех угловых точек корректора случайным образом в пределах заданного поля допуска указанных электронно-оптических элементов.
Содержание