Аппроксимация потерь энергии электронами пучка в однородных полупроводниковых материалах
М. А. Степович, А. А. Самохвалов, А. Г. Хохлов, М. М. Чайковский
Калужский филиал Московского государственного технического
университета им. Н. Э. Баумана, г. Калуга, Россия
Показано, что модифицированные функции Лагерра могут быть использованы для решения задачи аппроксимации распределений плотности потерь энергии электронами пучка в полупроводниковых материалах при соответствующем выборе модифицирующего параметра.
Содержание