Рациональная техническая реализация оптического метода детального картирования кислорода в кремниевых пластинах на базе современных достижений оптоэлектроники
Ю. Р. Винецкий, А. Г. Титов, М. А. Тришенков
ФГУП «НПО "Орион"», Москва, Россия
На основе анализа задачи измерения пространственного распределения кислорода в кремнии разработана и обоснована структурная схема установки. Проведенный поиск элементной базы подтвердил возможность технической реализации метода.
Содержание