Электростатический энергофильтр с двойной фокусировкой
Л. П. Овсянникова, Т. Я. Фишкова
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург, Россия
Предложено и теоретически исследовано устройство, фильтрующее по энергии пучки заряженных частиц. Оно состоит из цилиндрического полезадающего электрода, в меридиональной плоскости которого расположен плоский заземленный электрод, а по торцам — заземленные диафрагмы, через которые осуществляются впуск и вывод пучка. В широком диапазоне изменения геометрии системы рассчитаны ее параметры для двух случаев: с двойной фокусировкой пучка на плоский электрод и в режиме параллельного переноса пучка.
Содержание