Генератор накачки эксимерного лазера на основе высоковольтного твердотельного коммутатора
Е. В. Иванов, М. В. Малашин, С. И. Мошкунов, В. Ю. Хомич
Институт электрофизики и электроэнергетики РАН, Санкт-Петербург, Россия
О. В. Грязнов
Центр физического приборостроения ИОФ РАН им. А. М. Прохорова,
г. Троицк, Московская обл., Россия
Разработан высоковольтный твердотельный коммутатор (ВТК) на основе параллельно-последовательного включения IGBT. На базе коммутатора построен полностью твердотельный генератор импульсов субмикросекундного диапазона для накачки мощного эксимерного лазера. Максимальная выходная мощность генератора 2 кВт, рабочая частота до 2 кГц, амплитуда выходного напряжения 20—27 кВ, длительность фронта нарастания выходного напряжения < 70 нс.
Содержание