Метод диагностики плазмы высокочастотного индукционного разряда
Р. Н. Гайнуллин, А. П. Кирпичников
Казанский государственный технологический университет, Казань, Россия
Предложен комплексный метод контактной диагностики низкотемпературной плазмы высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда, позволяющий восстановить основные электромагнитные и тепловые параметры ВЧИ-разряда конечной длины по измеренным значениям амплитуды продольной компоненты магнитного поля в разряде.
Содержание