ЭЦР-источники на основе коаксиального резонатора со спиральной волноводной структурой
А. А. Балмашнов, А. В. Калашников
Российский университет дружбы народов, Москва, Россия
На основе коаксиальных резонаторов, центральный электрод которых выполнен в виде спирали, разработаны компактные ЭЦР-источники плазменного потока CERA-RHI и потока диссоциированных молекул CERA-RHD. Предполагается их использование в научных исследованиях и в вакуумно-плазменных технологиях, а CERA-RHI — также в качестве двигателя коррекции орбит легких космических аппаратов.
Содержание