Получение наноструктурных пленок низкотемпературной плазмой
А. Р. Галяутдинов, Р. Т. Галяутдинов, Н. Ф. Кашапов
ГОУ «ВПО "Казанский государственный технологический университет"», г. Казань, Россия
Методом магнетронного распыления получены пленки оксида титана TiOх (1<х<2) с регулируемым показателем поглощения. Измерены спектральные характеристики получен-ных тонких пленок. Спектрофотометрическим методом определены толщины и комплексные показатели преломления. Методом электронного парамагнитного резонанса обнаружены парамагнитные ионы Ti3+ в исследуемых покрытиях. Установлена структура пленок.
Содержание