Осаждение алмазных пленок в плазме СВЧ-факела при атмосферном давлении
К. Ф. Сергейчев, Н. А. Лукина, А. П. Большаков, В. Г. Ральченко,
Н. Р. Арутюнян, С. Н. Бокова, В. И. Конов
Институт общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук, Москва, Россия
В СВЧ-разряде факельного типа в аргон-водород-метановых смесях при атмосферном давлении реализовано осаждение алмазных пленок. Определены параметры плазмы в факеле, исследованы оптические спектры плазмы в условиях роста пленок. Представлены результаты анализа структуры углеродных пленок методом рамановского рассеяния.
Содержание