Формирование энергетического спектра многокомпонентного ионного пучка, движущегося в дрейфовом промежутке
Ю. В. Коробкин
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, Москва, Россия
В. Л. Паперный, А. А. Черных
Иркутский государственный университет, г. Иркутск, Россия
Исследованы параметры многокомпонентного пучка металлических ионов со средним зарядом Z, сепарированного с помощью
системы сеток из плазменной струи импульсного вакуумно-дугового разряда и ускоренного напряжением Uacc.
Показано, что ширина энергетического спектра пучка существенно увеличивается по сравнению со спектром ионов в
исходной плазменной струе, а средняя энергия в спектре оказывается ниже расчетной величины
em = ZeUacc. Зондовые измерения показали, что в дрейфовом
промежутке при ускоряющем напряжении более 1 кВ формируется положительный объемный заряд, что приводит к
возрастанию здесь величины потенциала до нескольких сотен электронвольт. Показано также, что действием
объемного заряда можно объяснить наблюдаемый вид энергетического спектра.
PACS: 41.75.-i
Ключевые слова: пучок, разряд, ион, энергетический спектр, объемный заряд
Л и т е р а т у р а
1. Brown I. G., Oks E. M.// IEEE Trans. on Plasma Sci. 1997. V. 25. № 6. P. 1222—1228.
2. Oks E., Yushkov G., Litovko I. et al.// Rev. Sci. Instrum. 2002. V. 73. № 2. P. 735—737.
3. Шкляев В. А., Беломытцев С. Я., Рыжов В. В.// Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 10. С. 64—69.
4. Паперный В. Л., Черных А. А., Шкляев В. А.// Там же. 2007. Т. 32. В. 24. С. 46—52.
5. Лебедев Ю. А. Введение в зондовую диагностику плазмы пониженного давления. — М.: МИФИ, 2003. — 56 c.
6. Anders A., Yushkov G. Y.// J. Appl. Phys. 2002. V. 91. № 8. P. 4824 —4832.
Содержание