ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Неохлаждаемый матричный приемник ИК-излучения на основе термопневматического микромеханического преобразователя с оптоэлектронной системой считывания

А. В. Гельфанд, А. Г. Паулиш, В. Н. Федоринин
Новосибирский филиал Института физики полупроводников СО РАН "КТИ ПМ", г. Новосибирск, Россия

Впервые получена и исследована матричная структура 200x200 термопневматических микромеханических преобразователей (ячеек Голея) в составе неохлаждаемого приемника ИК-излучения с оптоэлектронной системой считывания. Элементы диаметром 100 мкм сформированы на подложке ZnSe и заполнены ксеноном. В качестве поглощающего слоя использовались слои SiO₂ с полосой поглощения 8—14 мкм. При использовании оптики f/1 температурная чувствительность составляла 0,15 К/Гц^1/2; мощность, эквивалентная шуму, 10 нВт/Гц^1/2
PACS: 85.60.-q; 85.85.+j

Ключевые слова: матричный,термопневматический, микромеханический, приемник, ИК-излучение, оптоэлектронный, считывание.

Л и т е р а т у р а

1. Рогальский А. Инфракрасные детекторы: Пер. с англ./ Под ред. А. В. Войцеховского. — Новосибирск: Наука, 2003.
2. Wood R. A., Foss N. A.//Laser Focus World, June 1993. P. 101.
3. Whatmore R. W.//Ferroelectrics, 1991. V. 118. P. 241.
4. Amantea R., Knoedler C. M., Pantuso F. P., Patel V., Sauer D. J., Tower J. R.//Proc. SPIE. 1997. V. 3061. P. 210.
5. Manalis S. R. et al.//Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70. P. 3311.
6. Dong F., Zhang Q., Chen D., Miao Z., Xiong Z., Guo Z., Li C., Jiao B., Wu X.//Ultramicroscopy, 2008. V. 108. P. 579.
7. LeMieux M. C., McConney M. E., Lin Y. H., Singamaneni S., Jiang H., Bunning T. J., Tsukruk V. V.//Nano. Lett. 2006. V. 6. P. 730.
8. Golay M. J. E.//Rev. Sci. Instrum. 1947. V. 18. P. 357.
9. Федоринин В. Н.: Пат. 2157513 от 05.03.1999.

Содержание