ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Компьютерная методика оценки качества полированных поверхностей поликристаллических халькогенидов цинка

Е. М. Гаврищук, Е. Ю. Вилкова, А. Н. Колесников, О. В. Тимофеев
Институт химии высокочистых веществ РАН, г. Нижний Новгород, Россия

Разработана методика количественной оценки оптической чистоты полированной поверхности селенида цинка. Основу методики составляет компьютерное распознавание дефектов на микрофотографиях поверхности, что позволяет построить их функции распределения по размерам и определить качество полирования согласно ГОСТ 11141—84.

PACS: 85.60.-g

Ключевые слова: методика, оценка, оптический, чистота, коипьютерное, распознавание, функция распределения.

Л и т е р а т у р а

1. Гаврищук Е. М., Тимофеев О. В., Погорелко А. А., Сучков А. И.//Неорганические материалы. 2004. Т. 40. № 3. С. 267.
2. Гаврищук Е. М., Потелов В. В., Сеник Б. Н., Тимофеев О. В.//Прикладная физика. 2005. № 5. С. 107.
3. Тимофеев О. В., Кушнир С. Р., Гаврищук Е. М., Радбиль Б. А.: Тез. докл. 12-й конф. "Высокочистые вещества и материалы (получение, анализ, применение)". — г. Нижний Новгород, 2004. С. 299.
4. Девятых Г. Г., Коршунов И. А., Гаврищук Е. М. и др.//Высокочистые вещества. 1993. № 3. С. 16.
5. Боровских У. П., Тимофеев О. В., Вилкова Е. Ю., Попо-ва Е. Ю.: Тез. докл. 13-й конф. "Высокочистые вещества и материалы (получение, анализ, применение)". — Нижний Новгород, 2007. С. 196.

Содержание