ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Разработка элементов технологии монолитного инфракрасного фотоприемника

М. В. Якушев, В. В. Васильев, С. А. Дворецкий, Т. И. Захарьяш, А. И. Козлов, Ю. Г. Сидоров, Б. И. Фомин, А. Л. Асеев
Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск, Россия

А. В. Виноградов
УРБВТиСП Минобороны России, Москва, Россия

Е. В. Дегтярев ФГУ "22 ЦНИИ России", Мытищи Московской обл., Россия

Предложена технология инфракрасных (ИК)-детекторов, основанная на монолитных интегрированных ИК-матрицах фокальной плоскости, которая может стать заменой традиционной технологии гибридных матриц фокальной плоскости. Исследованы критические вопросы, касающиеся выращивания слоев HgCdTe на кремниевой считывающей интегральной схеме (ИС) и создания монолитных матриц фокальной плоскости: 1 — модель кремниевой считывающей ИС и макеты матриц фокальной плоскости; 2 — устойчивость считывающей ИС к высокотемпературному отжигу в вакууме; 3 — низкотемпературная очистка Si(310)-подложек; 4 — рост слоев CdTe и HgCdTe в окнах вскрытых в диэлектрике, нанесенном на поверхность Si(310); 5 — создание меза-структуры и соединяющих контактов. Полученные результаты показывают, что монолитное интегрирование ИК-матриц фокальной плоскости на основе HgCdTe на кремниевую считывающую ИС является вполне осуществимым процессом.

PACS: 07.57.Kp

Ключевые слова: технология, ИК-детектор, монолитный, гибридная матрица, слои, считывающий, интергральная схема.

Л и т е р а т у р а

1 . Kinch M. A.//Proc. SPIE. 2001. V. 4369. P. 566.
2. Baker I. M., Crimes G. J., Ard C. K. et al.//4th Int. Conf. on Advanced Infrared Detectors and Systems: IEE Conf. Pub. 1990. No 321.
3. Velisu S., Lee T. S., Grien C. H. et al.//J of Elec. Mat. 2005.V. 34. No 6. P. 820.
4. Fenner D. B., Biegelsen D. K., Bringans R. D.//J. Appl. Phys. 1989. V. 66. P. 419.
5. Hall D. J., Buckle L., Gordon N. T. et al.//Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. No 11. P. 2113.
6. Yao H., Woollam J. A., Alterovitz S. A.//Ibid. 1993. V. 62. No 25. P. 3324.
7. Якушев М. В., Бабенко А. А., Варавин В. С. и др.//При-кладная физика. 2007. No 4. С. 108.

Загрузить статью (PDF-формат)

Содержание