ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Остаточные напряжения и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода при нанесении TiN-покрытий методом конденсации с ионной бомбардировкой

Н. А. Панькин, Н. А. Смоланов
Мордовский государственный университет имени Н. П. Огарева, г. Саранск, Россия

   Исследованы остаточные напряжения и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода установки ННВ-6.6И4 при нанесении TiN-покрытий.

PACS: 68.37.-d

Ключевые слова: остаточные напряжения, микротвердость, конденсат, катод, покрытие, титан

Л и т е р а т у р а

1. Бецофен С. Я., Петров Л. М. Лазарев Э. М., Коротков Н. А.// Металлы. 1990. № 3. С. 158—165.
2. Андриевский Р. А.// Успехи химии. 1997. Т. 66. № 1. С. 57—77.
3. Гусев А. И.// УФН. 2000. Т. 170. № 1. С. 3—40.
4. Аксенов И. И., Андреев А. А., Брень В. Г. и др.// УФЖ. 1979. Т. 24. № 4. С. 515—525.
5. Смоланов Н. А., Бузлаев А. В., Панькин Н. А.// Поверх-ность. 2006. № 10. С. 58—62.
6. Matsue T., Hanabusa T., Miki Y. еt al.// Thin Solid Films. 1999. V. 343, 344. Р. 257—260.

Содержание