ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ

2016, № 1 Основан в 1994 г. Москва

УДК 535.8

Образование поверхностных медно-углеродных микроструктур
при распылении составной графитово-медной мишени
магнетронным способом

С. И. Валянский, С. В. Виноградов, М. А.Кононов, В. М. Кононов, С. Ф. Растопов

В данной работе представлены результаты применения магнетронной распылительной системы. Методом магнетронного распыления составной графитово-медной мишени получены поверхностные медно-углеродные структуры и выявлены условия их образования. Приведены характерные изображения структур на подложке, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии. Найдены режимы распыления графитово-медной мишени. Показано, что на эффективность процесса распыления, кроме конструкции магнетрона и мишени, во многом влияют условия эксперимента. В работе экспериментально подобрана плотность потока распылённых атомов на подложку, температура мишени и подложки, давление аргона. Найдено, что подобные структуры не образуются без промежуточного металлического слоя. В нашем случае это была пленка меди. В общем виде учесть влияние всех этих параметров на полученный результат для расчета процесса распыления составной мишени не представляется возможным. Поэтому трудно оценить возможность получения подобных структур с другими металлами.

PACS: 68.37.Ps

Ключевые слова: поверхность, микроструктуры, углерод, вакуумное магнетронное распыление, атомно-силовая микроскопия.

Валянский Сергей Иванович, старший научный сотрудник.
Национальный исследовательский технологический
университет «МИСиС».
Россия, 119049, Москва, Ленинский просп., 4.
Виноградов Сергей Владимирович, научный сотрудник.
Кононов Михаил Анатольевич, старший научный сотрудник.
Кононов Владимир Михайлович, стажер-исследователь.
Растопов Станислав Федорович, старший научный сотрудник.
Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН.
Россия, 119991, Москва, ул. Вавилова, 38.
Тел. 8 (499) 503-83-25. E-mail: mike@kapella.gpi.ru

Статья поступила в редакцию 23 ноября 2015 г. 		 
Загрузить статью (PDF-формат)

Содержание выпуска журнала