ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКАНАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ
УДК 621.383
Эпитаксиальные структуры для лавинных фотодиодов
А. К. Будтолаев, П. В. Горлачук, М. А. Ладугин, А. А. Мармалюк, Ю. Л. Рябоштан, |
Будтолаев Андрей Константинович, вед. инженер-технолог. Хакуашев Павел Евгеньевич, зам. начальника ПТК. Чинарева Инна Викторовна, ведущий инженер-технолог. АО «НПО «Орион». Россия, 111538, Москва, ул. Косинская, 9. Тел. 8 (495) 672-20-31. E-mail: orion@orion-ir.ru Горлачук Павел Владимирович, научный сотрудник. Ладугин Максим Анатольевич, начальник лаборатории. Мармалюк Александр Анатольевич, зам. генерального директора по науке. Рябоштан Юрий Леонидович, ведущий инженер-технолог. Яроцкая Ирина Валентиновна, научный сотрудник. АО «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха». Россия, 117342, Москва, ул. Введенского, 3, корп. 1. E-mail: bereg@niipolyus.ru Статья поступила в редакцию 8 февраля 2016 г. |
|