ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ

2016, № 1 Основан в 1994 г. Москва

УДК 533.9.082.74

Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы
модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений

А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков, А. С. Климов

редставлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. Показаны результаты исследований масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы различных газов, генерируемой непрерывным электронным пучком с током порядка 30 мА при давлении в области его распространения до 10 Па. Установлено, что в пучковой плазме генерируемой форвакуумным элек-тронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка.

PACS: 52.70.Ds

Ключевые слова: плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений, диагностика пучковой плазмы, масс зарядовый состав ионов плазмы.

Тюньков Андрей Владимирович, доцент1.
Юшков Юрий Георгиевич, научный сотрудник1,2.
Климов Александр Сергеевич, ст. научный сотрудник1.
1 Томский государственный университет систем
управления и радиоэлектроники.
Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40.
Тел. 8 (905) 990-52-41. E-mail: klimov@main.tusur.ru
2 Национальный исследовательский Томский
политехнический университет.
Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 30.

Статья поступила в редакцию 28 октября 2015 г. 		 
Загрузить статью (PDF-формат)

Содержание выпуска журнала