ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ

2016, № 2 Основан в 1994 г. Москва

УДК 533.9…15

Параметры радиационных процессов в плазме
микроволнового резонансного разряда

В. В. Андреев, И. А. Волдинер, М. А. Корнеева

В работе представлены результаты экспериментального исследования поведения спектраль-ных и фотометрических характеристик излучения в оптическом диапазоне импульсно-периодического микроволнового ЭЦР-разряда (2,45 ГГц, мощность до 200 Вт, давление плазмообразующего газа Ar от 1×10-4 до 1×10-1 Торр). В этих условиях в рабочем объеме создается плотная (ne = 1×1010 - 4×1011 см-3) низкотемпературная (Те = 3-5 эВ) плазма с высокой степенью ионизации (1×10 - 3-5×10 - 5). Показано, что регистрируемое повышение концентрации электронов вблизи верхней границы указанного диапазона давлений при неизменном уровне подводимой мощности приводит к радикальному изменению типа и спектрального состава излучения, а также к пороговому характеру увеличения светового потока. Анализ зондовых и оптических измерений позволил выделить диапазон изменения рабочих условий, определяющих характер и параметры изучаемых радиационных процессов.

PACS: 52.50.-Sw

Ключевые слова: ЭЦР-разряд, спектроскопия, фотометрия, видимый диапазон, зондовые измерения.

Андреев Виктор Викторович, доцент.
Волдинер Игорь Алексеевич, студент.
Корнеева Мария Анатольевна, ассистент.
Российский университет дружбы народов (РУДН).
Россия, 117198, Москва, ул. Миклухо-Маклая, 6.
Тел. 8 (903) 733-92-75.
E-mail: vvandreev@mail.ru; reewo@rambler.ru;
korneevama@mail.ru

Статья поступила в редакцию 14 марта 2016 г. 		 
Загрузить статью (PDF-формат)

Содержание выпуска журнала