ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ

2016, № 2 Основан в 1994 г. Москва

УДК 621.383.4/5:621.315.59

Структурные свойства подложек кадмий-цинк-теллур для выращивания
твердых растворов кадмий-ртуть-теллур

Е. В. Пряникова, А. Е. Мирофянченко, Н. А. Смирнова, А. А. Силина,
И. Д. Бурлаков, М. Б. Гришечкин, И. А. Денисов, Н. И. Шматов

В работе представлены экспериментальные результаты исследования и анализа структур-ных свойств подложек кадмий-цинк-теллур (КЦТ), предназначенных для эпитаксии кадмий-ртуть-теллур (КРТ), методами рентгеновской дифрактометрии, селективного травления, инфракрасной микроскопии. Показана взаимосвязь формы и полной ширины на полувысоте кривой качания со структурными дефектами, присутствующими в материале. Преципитаты и включения второй фазы, присутствующие в материале подложки в количестве 102 — 104 см-2, не оказывают влияния на значения полной ширины на полувысоте кривой качания. Уширение кривой качания вызвано повшенной плотностью дислокаций (>8×105), либо их ячеистым характером распределения. Построены карты распределения значений полной ши-рины на полувысоте кривой качания для определения структурного совершенства по всей площади образцов, позволяющие проводить оценку пригодности пластин для дальнейшего технологического процесса.

PACS: 07.07.Df, 07.57. -с, 81.05.Ea, 81.65.Rv

Ключевые слова: КЦТ, рентгеновская дифрактометрия, КРТ, МФПУ, структурные дефекты, кривая качания.

Пряникова Екатерина Васильевна, инженер 2 кат.1
Мирофянченко Андрей Евгеньевич, инженер-технолог 1 кат.1
Смирнова Наталья Анатольевна, вед. научный сотрудник2.
Силина Александра Андреевна, научный сотрудник2.
Бурлаков Игорь Дмитриевич, зам. ген. директора
по инновациям и науке1.
Гришечкин Михаил Борисович, научный сотрудник2.
Денисов Игорь Андреевич, заведующий лабораторией2.
Шматов Николай Иванович, вед. научный сотрудник2.
1 АО «НПО «Орион».
Россия, 111538, Москва, ул. Косинская, 9.
Тел. 8 (499) 374-82-51. E-mail: pryanikova@gmail.com
2 АО «ГИРЕДМЕТ».
Россия, 119017, Москва, Б. Толмачевский пер., 5, стр. 1.
Тел. 8 (499) 981-30-10 (271). E-mail: lab27@giredmet.ru

Статья поступила в редакцию 30 марта 2016 г. 		 
Загрузить статью (PDF-формат)

Содержание выпуска журнала