ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРОИЗВОДСТВЕ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ

В. И. Иванов
Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики, Москва, Россия

   Рассмотрены особенности процессов взаимодействия электронов, гамма-излучения, ионов с твердым телом с точки зрения использования их в технологических процессах производства электровакуумных приборов (ЭВП). С учетом специфики производства ЭВП определены перспективные направления исследований и разработок технологических процессов на базе высокоинтенсивных ионизирующих излучений.

Содержание