ВТСП-ПЛЕНКИ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖКАХ И УСТРОЙСТВА НА ИХ ОСНОВЕ
И.С. Байков
Всероссийский научно-исследовательский институт межотраслевой информации, Москва, Россия
А.И. Головашкин
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, Москва, Россия
Рассмотрены методы осаждения ВТСП-пленок на полупроводниковых подложках, условия оптимизации параметров
таких пленок и примеры устройств на их основе.
Содержание