ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

ВТСП-ПЛЕНКИ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖКАХ И УСТРОЙСТВА НА ИХ ОСНОВЕ

И.С. Байков
Всероссийский научно-исследовательский институт межотраслевой информации, Москва, Россия

А.И. Головашкин
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, Москва, Россия

   Рассмотрены методы осаждения ВТСП-пленок на полупроводниковых подложках, условия оптимизации параметров таких пленок и примеры устройств на их основе.

Содержание