СПЕКТРОСКОПИЯ МЕТАНСОДЕРЖАЩЕЙ ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ СВЧ-РАЗРЯДА
Ю. А. Лебедев, И. В. Солдатова, О. И. Холодкевич
Институт нефтехимического синтеза РАН, Москва, Россия
Методы оптической эмиссионной спектроскопии (400—900 нм) и реабсорбции использованы для диагностики водородной СВЧ-плазмы с малыми добавками СН4 Аг, Хе, N2 и воздуха при полном давлении 0,5—5 торр. Полная поглощенная плазмой мощность 1—55 Вт. Зависимость изменения интенсивностей излучения водородных линий от типа газовой добавки может быть связана с изменением условий баланса заряженных частиц. Показано влияние предварительной обработки поверхности разрядной трубки на концентрации возбужденных частиц плазмы. Обсуждаются ограничения метода актинометрии.
Содержание