Анализ влияния погрешностей аппроксимации
распределения осевого поля магнитных электронных
линз при помощи аналитических функций на расчет аберрации электронных линз

Б.Н. Васичев, М.О. Зотова
Московский государственный институт электроники и математики
(Технический университет), Москва, Россия

   Анализируются различные алгоритмы и способы реализации программы расчета распределения поперечной компоненты вектора индукции магнитного поля линзы на оси для полюсных наконечников с различными диаметрами и канала и величинами немагнитного зазора, а также полюсные наконечники, выполненные из разных магнитомягких материалов. Проверялся метод решения прямой моделирования электронно-оптических систем с использованием этих распределений по нескольким программ. Полученные результаты позволили оценить точность моделирования электронно-оптических систем современными методами и дать рекомендации по учету ошибок машинного моделирования.

Содержание