Электронно-лучевые конфокальные системы

Б.Н. Васичев, Е.П. Михальцов
Московский государственный институт электроники и математики
(Технический университет), Москва, Россия

Л.Б. Розенфельд
Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия

   Рассмотрены условия снижения полевых аберраций в конфокальных системах, образованных магнитными линзами. Показаны условия снижения в симметричных системах аберрации изотропной и анизотропной дисторсии и комы до нуля, а в системах, образованных подобными линзами, условия минимизации влияния указанных аберраций. Проведена количественная оценка зависимости аберраций от наложения полей линз.

Содержание