Разрешение оптических систем и проблема
воспроизведения минимальных
элементов изображения

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем
им. Ф.В. Лукина, Москва, Россия

   В работе дан подробный анализ соотношения между разрешающей способностью проекционных оптических систем и размерами минимального элемента в изображении, сформированном такой системой. Рассмотрены два направления исследований и разработок, обсуждающиеся в публикациях и ставящих целью реализацию элементов изображения меньших предела разрешения системы: а - создание шаблонов с оптимальной амплитудно-фазовой структурой для фотолитографии; б - использование внеосевого освещения предмета для тех же целей. Показано, что эти два направления идентичны по существу и различаются лишьпо их технической реализации. Установлено, что в обоих случаях за счет управляемлй интерференции световых волн в плоскости изображения можно реализовать элементы специальной формы с размерами, меньшими предела разрешения (сверхмалые элементы). При этом неизбежно искажается изображение в целом, но разрешение оптической системы не меняется. Приводятся примеры практической организации эксперимента для получения элнментов сверхмалых размеров как при использовании оптимальных шаблонов, так и при реализации внеосевого освещения объектаю

Содержание