Показана возможность использования микровакуумной ячейки в качестве элемента вычислительной системы (микропроцессора). Представлены математическая и физическая модели цилиндрической многоэлектродной структуры субмикронных размеров, физика формирования электронных пучков низких энергий и метод математического моделирования микро-электронно-оптических систем (микро-ЗОС). Численное моделирование таких структур может быть реализовано с помощью “Wide-angle optics” пакета программ, разработанного для моделирования электронно-лучевых аксиально-симметричных систем, содержащих непараксиальную широкоугольную оптику при малых начальных энергиях электронов. Рассмотрены оригинальные электромагнитные электронно-оптические элементы, мико-ЭОС.