Обсуждаются особенности и приводится методика распознавания образов в виде элементной неоднородности в гетерогенных массивных образцах и тонких пленках методами аналитической электронной микроскопии и рентгеновского микроанализа и некоторые аппаратные функции для определения чувствительности и достоверности при оптимальных условиях анализа.