Особенности распознавания образов в виде элементной неоднородности в полупроводниковых и других материалах методами аналитической электронной микроскопии

Васичев В.Н.

ГП НИИ электронной и ионной оптики, Москва

Обсуждаются особенности и приводится методика распознавания образов в виде элементной неоднородности в гетерогенных массивных образцах и тонких пленках методами аналитической электронной микроскопии и рентгеновского микроанализа и некоторые аппаратные функции для определения чувствительности и достоверности при оптимальных условиях анализа.