Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, Новосибирск, Россия

Представлены результаты исследований по улучшению адгезии тонких металлических пленок с помощью источника с регулируемым полиэнергетическим атомарным потоком. Приведены результаты обработки образцов атомарными потоками с различными параметрами.