ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПОТОКОВ НЕЙТРАЛОВ ПЕРЕЗАРЯДКИ В УСТАНОВКЕ ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ПУЧКОВОЙ ЭПИТАКСИИ CERA-VN

О. А. Бабич, А. А. Балмашнов

Российский университет дружбы народов, Москва, Россия

Е-mail: abalmashnov@mx.pfu.edu.ru

Дано краткое описание микроволнового источника потока нейтральных частиц CERA-VN. На основе полученных результатов сделан вывод о влиянии упругих столкновений в камере перезарядки на интенсивность и пространственную расходимость формируемого потока.