С.С.Демидов, Е.А.Климанов, И.Г.Стоянова, С.В.Щукин, В.М.Юнгерман
Государственное унитарное предприятие «НПО "Орион"», Москва, Россия
Рассмотрены вопросы создания полевого транзистора с управляющим переходом (ПТУП) с пониженным уровнем шума, работающего при 77 К в режиме микротоков. Дано описание основных принципов построения технологического маршрута ПТУП. Приведены параметры экспериментальных образцов приборов. Значительное место при объяснении полученных результатов уделено физике работы приборов, работающих при криогенных температурах.