Исследовано влияние состава газовой атмосферы на свойства эпитаксиальных слоев, выращиваемых при плазмостимулированном разложении металлоорганических соединений (МОС). Показано, что лучшее качество слоев достигается при использовании смеси гелия с небольшими добавками водорода при давлении 1-5 торр. Исследовано влияние ВЧ-мощности и показано, что оптимальные ее значения зависят от состава выращиваемого слоя и могут быть определены из соотношения концентраций предельных и непредельных углеводородов на выходе из реактора.

Содержание журнала "Прикладная физика" N 1, 2000 г.