СодержаниеБ. Н. Васичев
Московский государственный институт электроники и математики
(Технический университет), Россия
А. А. Мельников
Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики
(Технический университет), Россия
О. Д. Потапкин
Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Представлена методика оценки эффективности детекторов вторичных электронов в режиме парной симметрии.
Содержание