Л. Б. Розенфельд
Научно-исследовательский институт электронной и ионной оптики, Москва, Россия
Б. Н. Васичев, М. О. Зотова
Московский государственный институт электроники и математики
(Технический университет), Москва, Россия
Приведены методика расчета и анализ результатов по влиянию неточности изготовления на электронно-оптические характеристики квадрупольных линз и стигматоров. Оценены величина размытия пучка и величина ошибки позиционирования при сдвиге, наклоне и изменении длины и радиуса отдельных проводников электронно-оптических элементов.